北京航天宏达光电技术股份有限公司

感谢您选择北京航天宏达光电技术有限公司生产的台式紫外臭氧光清洗机GXT10A-01，本产品具有清洗效果好，操作简便，安全可靠，维护简单。GXT10A-01型清洗机体积小，清洗功率大，具备风冷却循环系统，成功的解决了清洗机中普遍存在的散热问题。

工作原理

紫外线光是一种波长范围为1360×10-10m~3900×10-10m的不可见光线。按波长范围可分为A、B、C三波段和真空紫外线：①A波段320nm～400nm；②B波段275～320nm；③C波段200nm～275nm；④V波段---真空紫外线100～200nm。各种波长范围的紫外线光的作用是不同的，有些是用来杀菌的、有些是用来清洗的、有些是用来光刻的、有些是用来固化的。紫外线灯按照启动与工作方式可以分为瞬间启动型、冷阴极型、热阴极型，而对于同样耗电的情况，瞬间启动型的照射功率最强。另外，灯的照射功率还随周围及管壁的温度而变化，因此必须控制好紫外线灯周围及管壁的温度，以使紫外灯发挥最佳的效果。

在液晶显示器的制造过程中，对ITO玻璃上的洁净度要求是非常之高的，要生产线间距和线宽为10μm的产品，并且保证成品率，对曝光前的涂膜要求是相当之高。要提高涂膜的效果，首先要保证玻璃是洁净的。在以往的清洗技术（化学清洗和物理清洗）中，经常很难达到这种洁净度要求。如何提高玻璃表面的洁净度，提高敷膜的效果呢？目前国外得到广泛使用的是UV紫外光清洗，它一方面能避免由于使用有机溶剂造成的污染，同时能够将清洗过程缩短。其工作原理是利用紫外光子对有机物质所起的光敏氧化作用以达到清洗粘附在物体表面上的有机化合物（碳氢化合物）的目的。在实际应用中，通常是利用一种能产生两种波长的紫外灯，这种UV灯能够产生波长为254nm、185nm的紫外光（通常185nm波长的仅为254nm波长光的20%）。其工作过程是：大多数有机化合物对其中254nm波长的紫外光有较强的吸收能力，它们在吸收了紫外光之后，分解为离子、游离态原子、受激分子和中性分子，这即光敏作用。而大气中的氧气在吸收了波长为185nm的紫外光子后产生臭氧O3和原子氧O，产生的O3对254nm波长的紫外光又具有强烈的吸收作用，在光子的作用下，臭氧又会分解为氧气和原子氧O，由于原子氧极其活泼，物体表面上的碳和氢化合物的光敏分解物在它的氧化作用下化合成可挥发性气体：二氧化碳、氮气和水蒸气等逸出物体表面，从而达到彻底清除粘附在物体表面上的顽固有机物质的目的。其清洗原理如下图所示：

在这里，配套使用了反射板，其作用是将UV灯发出的UV光反射到玻璃基板上，从而加强玻璃基板受光照的强度。而在设备实现上，有三项很重要的因素必须注意与控制，这就是：一、要保持玻璃基板到UV灯在一个较小的距离，通常这一间隙须小于10mm，其意义在于能够提供足够的光照强度，并且可以避免出现光照盲区。二、要保持清洗机内腔体适当的O3浓度，过多过少均不利于达到清洗的最终效果，通常O3浓度是控制在100-130ppm范围内。三、炉腔的温度不能太高，因此必须注意冷却，控制好炉腔的工作温度，以防止紫外光灯因过热而变形或紫外线照射功率的减损。

有关的实验证明，经过化学和物理清洗后，玻璃表面的接触角（衡量物体表面洁净度的主要参数，是用定量的纯水滴到物体表面，水滴形成的角度）只能在50度左右，这对于STN产品来说是远远不够的，而再经过紫外光清洗后，接触角可下降到20度以下，能够满足STN产品的工艺要求。

感谢您选择北京航天宏达光电技术有限公司生产的台式紫外臭氧光清洗机GXT10A-01，本产品具有清洗效果好，操作简便，安全可靠，维护简单。GXT10A-01型清洗机体积小，清洗功率大，具备风冷却循环系统，成功的解决了清洗机中普遍存在的散热问题。
工作原理
紫外线光是一种波长范围为1360×10-10m~3900×10-10m的不可见光线。按波长范围可分为A、B、C三波段和真空紫外线：①A波段320nm～400nm；②B波段275～320nm；③C波段200nm～275nm；④V波段---真空紫外线100～200nm。各种波长范围的紫外线光的作用是不同的，有些是用来杀菌的、有些是用来清洗的、有些是用来光刻的、有些是用来固化的。紫外线灯按照启动与工作方式可以分为瞬间启动型、冷阴极型、热阴极型，而对于同样耗电的情况，瞬间启动型的照射功率最强。另外，灯的照射功率还随周围及管壁的温度而变化，因此必须控制好紫外线灯周围及管壁的温度，以使紫外灯发挥最佳的效果。
在液晶显示器的制造过程中，对ITO玻璃上的洁净度要求是非常之高的，要生产线间距和线宽为10μm的产品，并且保证成品率，对曝光前的涂膜要求是相当之高。要提高涂膜的效果，首先要保证玻璃是洁净的。在以往的清洗技术（化学清洗和物理清洗）中，经常很难达到这种洁净度要求。如何提高玻璃表面的洁净度，提高敷膜的效果呢？目前国外得到广泛使用的是UV紫外光清洗，它一方面能避免由于使用有机溶剂造成的污染，同时能够将清洗过程缩短。其工作原理是利用紫外光子对有机物质所起的光敏氧化作用以达到清洗粘附在物体表面上的有机化合物（碳氢化合物）的目的。在实际应用中，通常是利用一种能产生两种波长的紫外灯，这种UV灯能够产生波长为254nm、185nm的紫外光（通常185nm波长的仅为254nm波长光的20%）。其工作过程是：大多数有机化合物对其中254nm波长的紫外光有较强的吸收能力，它们在吸收了紫外光之后，分解为离子、游离态原子、受激分子和中性分子，这即光敏作用。而大气中的氧气在吸收了波长为185nm的紫外光子后产生臭氧O3和原子氧O，产生的O3对254nm波长的紫外光又具有强烈的吸收作用，在光子的作用下，臭氧又会分解为氧气和原子氧O，由于原子氧极其活泼，物体表面上的碳和氢化合物的光敏分解物在它的氧化作用下化合成可挥发性气体：二氧化碳、氮气和水蒸气等逸出物体表面，从而达到彻底清除粘附在物体表面上的顽固有机物质的目的。其清洗原理如下图所示：
在这里，配套使用了反射板，其作用是将UV灯发出的UV光反射到玻璃基板上，从而加强玻璃基板受光照的强度。而在设备实现上，有三项很重要的因素必须注意与控制，这就是：一、要保持玻璃基板到UV灯在一个较小的距离，通常这一间隙须小于10mm，其意义在于能够提供足够的光照强度，并且可以避免出现光照盲区。二、要保持清洗机内腔体适当的O3浓度，过多过少均不利于达到清洗的最终效果，通常O3浓度是控制在100-130ppm范围内。三、炉腔的温度不能太高，因此必须注意冷却，控制好炉腔的工作温度，以防止紫外光灯因过热而变形或紫外线照射功率的减损。
有关的实验证明，经过化学和物理清洗后，玻璃表面的接触角（衡量物体表面洁净度的主要参数，是用定量的纯水滴到物体表面，水滴形成的角度）只能在50度左右，这对于STN产品来说是远远不够的，而再经过紫外光清洗后，接触角可下降到20度以下，能够满足STN产品的工艺要求。

紫外臭氧光清洗机GXT10A-01

安装说明

概论：组装前请检查组件的完整，见装箱清单。系统出厂前未配备进风和出风管道，请按照尺寸要求购买相应的轴流风机、进风管道和排风管道。

一.安装风冷系统
1.固定安装轴流风机。
2.根据环境的要求将通风管道进行连接。
3.安装完毕后进行调试。

示意图：

安装说明
概论：组装前请检查组件的完整，见装箱清单。系统出厂前未配备进风和出风管道，请按照尺寸要求购买相应的轴流风机、进风管道和排风管道。
一.安装风冷系统
1.固定安装轴流风机。
2.根据环境的要求将通风管道进行连接。
3.安装完毕后进行调试。
示意图：

二.组装清洗机
安装紫外线灯组件将清洗机的废气出口用排风管道连接到净化间的排风管道。注意：清洗机的排风包含高温(<80℃)臭氧和清洗废气，请保证排风管道的连接通畅,密闭严谨. （示意图）

紫外线灯组件

二.组装清洗机
安装紫外线灯组件将清洗机的废气出口用排风管道连接到净化间的排风管道。注意：清洗机的排风包含高温(<80℃)臭氧和清洗废气，请保证排风管道的连接通畅,密闭严谨. （示意图）

紫外线灯组件

换紫外灯组件步骤：

1．用十字改锥旋下A处两螺钉
2．拆下挡板F
3．拉出紫外灯组件C
4．用十字改锥旋下B、D处螺钉
5．拔下电缆线插头E
6．紫外灯组件取下
7．按取紫外灯组件的顺序反过来自下而上，既是装紫外灯组件的步骤
8．换紫外灯组件完毕

（三）紫外光臭氧清洗机载物盘调整

调节方法：同时调节旋钮A、B即可完成载物台升降过程（配有周转盘）放置周转盘时，请放置在五个定位销组成的边框面积里。示意图

（四）紫外光臭氧清洗更换过滤网

更换过滤网步骤 1．拧下螺母
2．拿掉压竿
3．更换新的过滤网

（三）紫外光臭氧清洗机载物盘调整

调节方法：同时调节旋钮A、B即可完成载物台升降过程（配有周转盘）放置周转盘时，请放置在五个定位销组成的边框面积里。示意图

（四）紫外光臭氧清洗更换过滤网

更换过滤网步骤

1．拧下螺母

2．拿掉压竿

3．更换新的过滤网

技术参数
设备参数

设备型号：           GXT10A-01
外型尺寸(mm)：    511×399×284.5
被清洗工件最大尺寸(mm)： 120 × 120
载物台摆动:           ±7.5mm
工作环境要求:         0-40℃
臭氧泄漏:            ＜0.16ppm
被处理材料表面温度: ＜55℃
工作电压:            AC 220V 50Hz
工作时最大工作功率: 150W
工作时的待机功率: 120W
组件参数灯管功率： 120W(120W×1)
灯管形状：蛇形
灯管类型：使用双波段紫外光源
灯管寿命：＞5000小时 ( 照度>70% )
照射距离： 1~85mm可调照度: 1-45mw/cm2

技术参数
设备参数
设备型号：           GXT10A-01
外型尺寸(mm)：    511×399×284.5
被清洗工件最大尺寸(mm)： 120 × 120
载物台摆动:           ±7.5mm
工作环境要求:         0-40℃
臭氧泄漏:            ＜0.16ppm
被处理材料表面温度: ＜55℃
工作电压:            AC 220V 50Hz
工作时最大工作功率: 150W
工作时的待机功率: 120W
组件参数灯管功率： 120W(120W×1)
灯管形状：蛇形
灯管类型：使用双波段紫外光源
灯管寿命：＞5000小时 ( 照度>70% )
照射距离： 1~85mm可调照度: 1-45mw/cm2

功能介绍 插上电源

紫外臭氧光清洗机通电后，蜂鸣器叫一声，程序进入演示状态。按“取消”键退回，返回待机状态。
(1) 按“开始”键，紫外臭氧光清洗机开始工作；
(2) 在运行过程中按“开始/+30秒”键，清洗时间增加30秒
最大清洗时间为99分90秒；
清洗时间运行到设定时间，蜂鸣器鸣叫二声，提醒清洗完毕。

注意事项
1.保证整机的可靠接地
2.整机功消最大为150W，请保证能够提供足够的配电功率。

维护保养
1.定期拆机进行清理。
2.整机在工作3000小时左右必须更换灯管
更换灯管方法：
整机在工作超过3000小时后,紫外灯的照射将降低到国家标准以下,此时灯管可按照报废处理,必须更换灯管。在长时间的频繁启动情况下，也会降低紫外灯的使用寿命。

注意：
1.更换灯时，请在清洁的环境中进行。
2.注意保证所更换的灯管表面洁净。
3.本系统多使用标准件，请将卸下的螺丝全部安装回原位置，不能遗留在机器内部。
更换保险:
在输入电流的状况差和误操作的情况下,保险会自动熔断,请更换保险

功能介绍 插上电源
紫外臭氧光清洗机通电后，蜂鸣器叫一声，程序进入演示状态。按“取消”键退回，返回待机状态。
(1) 按“开始”键，紫外臭氧光清洗机开始工作；
(2) 在运行过程中按“开始/+30秒”键，清洗时间增加30秒
最大清洗时间为99分90秒；
清洗时间运行到设定时间，蜂鸣器鸣叫二声，提醒清洗完毕。
注意事项
1.保证整机的可靠接地
2.整机功消最大为150W，请保证能够提供足够的配电功率。
维护保养
1.定期拆机进行清理。
2.整机在工作3000小时左右必须更换灯管
更换灯管方法：
整机在工作超过3000小时后,紫外灯的照射将降低到国家标准以下,此时灯管可按照报废处理,必须更换灯管。在长时间的频繁启动情况下，也会降低紫外灯的使用寿命。
注意：
1.更换灯时，请在清洁的环境中进行。
2.注意保证所更换的灯管表面洁净。
3.本系统多使用标准件，请将卸下的螺丝全部安装回原位置，不能遗留在机器内部。
更换保险:
在输入电流的状况差和误操作的情况下,保险会自动熔断,请更换保险

故障排除

    1.整机不工作

  电源是否可靠连接
  电源功率是否足够
  整机保险是否熔断

    2.紫外灯不亮

  镇流器是否正常工作
  清洗仓的门是否严密关闭
  检查整机电源是否满足要求

提示
(1) 在功能设定状态下，数码管显示相应设置；
(2) 有效按键蜂鸣器鸣叫一声，无效按键无反应；
(3) 在运行和暂停状态中，数码管显示剩余清洗时间；
(4) 拆包装后，请把紫外臭氧光清洗机内部定位的透明胶纸拿掉，并用清洗液全面清洗，再做使用，以保证清洗效果；
(5) 包装箱里有金属软管样品，客户可按金属软管样品去市场购买，接通风管道。

故障排除

1.整机不工作

电源是否可靠连接

电源功率是否足够

整机保险是否熔断

2.紫外灯不亮

镇流器是否正常工作

清洗仓的门是否严密关闭

检查整机电源是否满足要求

提示

(1) 在功能设定状态下，数码管显示相应设置；

(2) 有效按键蜂鸣器鸣叫一声，无效按键无反应；

(3) 在运行和暂停状态中，数码管显示剩余清洗时间；

(4) 拆包装后，请把紫外臭氧光清洗机内部定位的透明胶纸拿掉，并用清洗液全面清洗，再做使用，以保证清洗效果；

(5) 包装箱里有金属软管样品，客户可按金属软管样品去市场购买，接通风管道。